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可控液滴催化微纳刻蚀加工方法的研究
| 论文题名： | 可控液滴催化微纳刻蚀加工方法的研究 |
| 关键词： | 液滴;催化;刻蚀 |
| 作者： | 董朝庆 |
| 专业： | 机械电子工程 |
| 导师： | 邓喜军 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 可控液滴催化微纳刻蚀加工方法的研究 |
| 关键词： | 液滴;催化;刻蚀 |
| 作者： | 董朝庆 |
| 专业： | 机械电子工程 |
| 导师： | 邓喜军 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |