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NiP超光滑表面CMP理论模型建立与工艺实验研究
| 论文题名： | NiP超光滑表面CMP理论模型建立与工艺实验研究 |
| 关键词： | NiP;超光滑表面;CMP;理论;模型建立 |
| 作者： | 罗杰维 |
| 专业： | 机械工程 |
| 导师： | 房振勇 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | NiP超光滑表面CMP理论模型建立与工艺实验研究 |
| 关键词： | NiP;超光滑表面;CMP;理论;模型建立 |
| 作者： | 罗杰维 |
| 专业： | 机械工程 |
| 导师： | 房振勇 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |