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高阻AZO薄膜的制备及电学性能研究
| 论文题名： | 高阻AZO薄膜的制备及电学性能研究 |
| 关键词： | 高阻;AZO薄膜;制备;电学 |
| 作者： | 关钧 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 端木庆铎 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 长春理工大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 高阻AZO薄膜的制备及电学性能研究 |
| 关键词： | 高阻;AZO薄膜;制备;电学 |
| 作者： | 关钧 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 端木庆铎 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 长春理工大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |