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硅片自旋转精密磨削中金刚石砂轮磨损研究
| 论文题名： | 硅片自旋转精密磨削中金刚石砂轮磨损研究 |
| 关键词： | 硅片;旋转;精密磨削;金刚石 |
| 作者： | 任庆磊 |
| 专业： | 机械制造及其自动化 |
| 导师： | 魏昕 |
| 授予学位： | 博士 |
| 授予学位单位： | 广东工业大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 硅片自旋转精密磨削中金刚石砂轮磨损研究 |
| 关键词： | 硅片;旋转;精密磨削;金刚石 |
| 作者： | 任庆磊 |
| 专业： | 机械制造及其自动化 |
| 导师： | 魏昕 |
| 授予学位： | 博士 |
| 授予学位单位： | 广东工业大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |