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超声表面波表征方法中薄膜残余应力的研究
| 论文题名： | 超声表面波表征方法中薄膜残余应力的研究 |
| 关键词： | 超声表面波;表征方法 |
| 作者： | 睢晓乐 |
| 专业： | 集成电路工程 |
| 导师： | 肖夏;宗勇 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 天津大学 |
| 学位年度： | 2017 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 超声表面波表征方法中薄膜残余应力的研究 |
| 关键词： | 超声表面波;表征方法 |
| 作者： | 睢晓乐 |
| 专业： | 集成电路工程 |
| 导师： | 肖夏;宗勇 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 天津大学 |
| 学位年度： | 2017 |
| 正文语种： | 中文 |