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利用声子晶体减小锚点损耗的高频MEMS谐振器的性能研究
论文题名:
利用声子晶体减小锚点损耗的高频MEMS谐振器的性能研究
关键词:
声子晶体;锚点;损耗;高频;MEMS;谐振器
作者:
Mohammed Awad Ahmed Mohammed
专业:
电子科学与技术
导师:
鲍景富
授予学位:
硕士
授予学位单位:
电子科技大学
学位年度:
2018
正文语种:
中文
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