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利用声子晶体减小锚点损耗的高频MEMS谐振器的性能研究
| 论文题名： | 利用声子晶体减小锚点损耗的高频MEMS谐振器的性能研究 |
| 关键词： | 声子晶体;锚点;损耗;高频;MEMS;谐振器 |
| 作者： | Mohammed Awad Ahmed Mohammed |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 鲍景富 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 电子科技大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 利用声子晶体减小锚点损耗的高频MEMS谐振器的性能研究 |
| 关键词： | 声子晶体;锚点;损耗;高频;MEMS;谐振器 |
| 作者： | Mohammed Awad Ahmed Mohammed |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 鲍景富 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 电子科技大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |