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浸入式全物理模型的光源掩膜协同优化算法
| 论文题名： | 浸入式全物理模型的光源掩膜协同优化算法 |
| 关键词： | 浸入式;物理模型;光源;掩膜 |
| 作者： | 彭飞 |
| 专业： | 控制科学与工程 |
| 导师： | 沈逸江 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 广东工业大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 浸入式全物理模型的光源掩膜协同优化算法 |
| 关键词： | 浸入式;物理模型;光源;掩膜 |
| 作者： | 彭飞 |
| 专业： | 控制科学与工程 |
| 导师： | 沈逸江 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 广东工业大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |