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基于牺牲层的微纳流控芯片制造技术及器件
论文题名:
基于牺牲层的微纳流控芯片制造技术及器件
关键词:
牺牲层;流控;芯片制造技术
作者:
梁福鹏
专业:
生物医学工程
导师:
陆祖宏
授予学位:
博士
授予学位单位:
东南大学
学位年度:
2017
正文语种:
中文
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