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基于声表面波谐振器的多参数集成传感技术研究
| 论文题名： | 基于声表面波谐振器的多参数集成传感技术研究 |
| 关键词： | 声表面波谐振器;多参数集成 |
| 作者： | 张永威 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 张文栋;谭秋林 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 中北大学 |
| 学位年度： | 2020 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 基于声表面波谐振器的多参数集成传感技术研究 |
| 关键词： | 声表面波谐振器;多参数集成 |
| 作者： | 张永威 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 张文栋;谭秋林 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 中北大学 |
| 学位年度： | 2020 |
| 正文语种： | 中文 |