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压电式MEMS一维矢量水声传感器研究
| 论文题名： | 压电式MEMS一维矢量水声传感器研究 |
| 关键词： | 压电式;MEMS;一维 |
| 作者： | 李芬 |
| 专业： | 电子与通信工程 |
| 导师： | 何剑;张云逸 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 中北大学 |
| 学位年度： | 2020 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 压电式MEMS一维矢量水声传感器研究 |
| 关键词： | 压电式;MEMS;一维 |
| 作者： | 李芬 |
| 专业： | 电子与通信工程 |
| 导师： | 何剑;张云逸 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 中北大学 |
| 学位年度： | 2020 |
| 正文语种： | 中文 |