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交流驱动液态电极等离子体特性研究
论文题名:
交流驱动液态电极等离子体特性研究
关键词:
交流驱动;液态电极;等离子体
作者:
王晓蒙
专业:
集成电路工程
导师:
郑培超
授予学位:
硕士
授予学位单位:
重庆邮电大学
学位年度:
2015
正文语种:
中文
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