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层叠结构氮化硅阻变器件可靠性研究
| 论文题名： | 层叠结构氮化硅阻变器件可靠性研究 |
| 关键词： | 层叠结构;氮化硅;器件 |
| 作者： | 姜鹏飞 |
| 专业： | 集成电路工程 |
| 导师： | 高海霞;郑英奎 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 西安电子科技大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 层叠结构氮化硅阻变器件可靠性研究 |
| 关键词： | 层叠结构;氮化硅;器件 |
| 作者： | 姜鹏飞 |
| 专业： | 集成电路工程 |
| 导师： | 高海霞;郑英奎 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 西安电子科技大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |