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原文传递压电/硅微梁谐振性能一体化测试方法研究

论文题名：	压电/硅微梁谐振性能一体化测试方法研究
关键词：	硅微;谐振性能;一体化
作者：	吕云飞
专业：	仪器仪表工程
导师：	潘孟春;胡佳飞
授予学位：	硕士
授予学位单位：	国防科技大学
学位年度：	2018
正文语种：	中文

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