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组装式硅微半球谐振陀螺加工关键技术研究
| 论文题名： | 组装式硅微半球谐振陀螺加工关键技术研究 |
| 关键词： | 组装式;硅微;半球谐振陀螺;加工 |
| 作者： | 颜冲 |
| 专业： | 仪器科学与工程 |
| 导师： | 金伟明;周捷 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 东南大学 |
| 学位年度： | 2020 |
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| 论文题名： | 组装式硅微半球谐振陀螺加工关键技术研究 |
| 关键词： | 组装式;硅微;半球谐振陀螺;加工 |
| 作者： | 颜冲 |
| 专业： | 仪器科学与工程 |
| 导师： | 金伟明;周捷 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 东南大学 |
| 学位年度： | 2020 |