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微光机电加速度计关键技术研究
| 论文题名： | 微光机电加速度计关键技术研究 |
| 关键词： | 微光机电;加速度计 |
| 作者： | 姚俊杰 |
| 专业： | 光学工程 |
| 导师： | 陈杏藩;舒晓武;周一览 |
| 授予学位： | 博士 |
| 授予学位单位： | 浙江大学 |
| 学位年度： | 2021 |
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| 论文题名： | 微光机电加速度计关键技术研究 |
| 关键词： | 微光机电;加速度计 |
| 作者： | 姚俊杰 |
| 专业： | 光学工程 |
| 导师： | 陈杏藩;舒晓武;周一览 |
| 授予学位： | 博士 |
| 授予学位单位： | 浙江大学 |
| 学位年度： | 2021 |