详情

当前位置：首页> 学位论文 >详情

原文传递集成电路钴插塞/互连粗抛液及其平坦化机理的研究

论文题名：	集成电路钴插塞/互连粗抛液及其平坦化机理的研究
关键词：	集成电路;插塞;互连
作者：	杨云点
专业：	电子与通信工程
导师：	王胜利
授予学位：	硕士
授予学位单位：	河北工业大学
学位年度：	2021

相关文献

检索历史

应用推荐