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大口径辅助阳极型辉光放电溅射源的设计与研究
| 论文题名： | 大口径辅助阳极型辉光放电溅射源的设计与研究 |
| 关键词： | 大口径;辅助阳极;辉光放电;溅射 |
| 作者： | 武佳 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 万真真 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 河北大学 |
| 学位年度： | 2023 |
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| 论文题名： | 大口径辅助阳极型辉光放电溅射源的设计与研究 |
| 关键词： | 大口径;辅助阳极;辉光放电;溅射 |
| 作者： | 武佳 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 万真真 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 河北大学 |
| 学位年度： | 2023 |