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原文传递 大口径辅助阳极型辉光放电溅射源的设计与研究
论文题名: 大口径辅助阳极型辉光放电溅射源的设计与研究
关键词: 大口径;辅助阳极;辉光放电;溅射
作者: 武佳
专业: 电子科学与技术
导师: 万真真
授予学位: 硕士
授予学位单位: 河北大学
学位年度: 2023
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