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光学元件表面微缺陷检修系统的结构优化设计与误差分析
| 论文题名： | 光学元件表面微缺陷检修系统的结构优化设计与误差分析 |
| 关键词： | 光学元件;表面;微缺陷;检修系统;结构优化设计 |
| 作者： | 林志宇 |
| 专业： | 机械 |
| 导师： | 胡秀丽 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 学位年度： | 2022 |
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| 论文题名： | 光学元件表面微缺陷检修系统的结构优化设计与误差分析 |
| 关键词： | 光学元件;表面;微缺陷;检修系统;结构优化设计 |
| 作者： | 林志宇 |
| 专业： | 机械 |
| 导师： | 胡秀丽 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 学位年度： | 2022 |