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燃料电池用湿度传感元件的研制
| 题名： | 燃料电池用湿度传感元件的研制 |
| 正文语种： | 中文 |
| 作者： | ZHOU Wen-he 周文和 WANG liang-cheng 王良成 WANG Liang-bi 王良璧 LIU Qian 刘倩 HU Wan-ling 胡万玲 0 LING Xi ao-bo 令小波 |
| 作者单位： | Lanzhou Jiaotong University,Lanzhou 730070, hina 兰州交通大学,兰州730070,中国 |
| 关键词： | 燃料电池 湿度传感器 平行板电容 制造工艺 感湿机理 |
| 摘要： | 通过氧化SiO2绝缘层、蒸镀平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化，以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料，制作了平行板电容式湿度传感元件。详细介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理，对成品感湿元件的基本电特性进行了测试。结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、制作工艺正确，可满足进一步湿敏特性的测试要求。 |
| 会议日期： | 200912 |
| 会议举办地点： | 深圳 |
| 会议名称： | 第五届中国智能交通年会暨第六届国际节能与新能源汽车创新发展论坛 |
| 出版日期： | 2009-11-30 |
| 母体文献： | 第五届中国智能交通年会暨第六届国际节能与新能源汽车创新发展论坛论文集 |
| 分类号： | TM911.4 TM910.3 |
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