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气相沉积技术研究现状与进展
| 题名： | 气相沉积技术研究现状与进展 |
| 正文语种： | 中文 |
| 作者： | 陈向阳 张瑾 |
| 作者单位： | 安徽理工大学机械工程学院,安徽淮南,232001 |
| 关键词： | 气相沉积 现状 趋势 |
| 摘要： | 介绍了气相沉积技术的原理、分类、研究现状和发展趋势，并介绍了气相沉积技术硬质涂层在工业中的应用情况。 |
| 会议日期： | 201412 |
| 会议举办地点： | 西安 |
| 会议名称： | 陕西省环境科学学会2014年年会 |
| 出版日期： | 2014-11-30 |
| 母体文献： | 陕西省环境科学学会2014年年会论文集 |
| 分类号： | O48 X3 |
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