题名: | 发泡海绵过滤防尘网过滤性能的实验研究 |
正文语种: | 中文 |
作者: | 毛宁 贾玉 柳静献 孙熙 |
作者单位: | 东北大学滤料检测中心 |
关键词: | 泡海绵过滤防尘网 孔隙率 滤速 相对湿度 |
摘要: | 空气过滤材料的过滤性能是阻碍芯片制造技术进步的关键问题之一。本研究选取了发泡海绵过滤防尘网作为研究对象,对其微观结构进行了分析。同时设计并开发了空气过滤材料过滤性能测试装置,对发泡海绵过滤防尘网的过滤性能进行了实验研究。研究结果表明:随着孔隙率的降低和过滤速度的降低,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加;而随着相对湿度的增加,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加。 |
会议日期: | 201509 |
会议举办地点: | 江苏阜宁 |
会议名称: | 全国袋式除尘技术研讨会 |
出版日期: | 2015-08-31 |
母体文献: | 全国袋式除尘技术研讨会论文集 |
分类号: | TP2 X51 |