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原文传递 发泡海绵过滤防尘网过滤性能的实验研究
题名: 发泡海绵过滤防尘网过滤性能的实验研究
正文语种: 中文
作者: 毛宁 贾玉 柳静献 孙熙
作者单位: 东北大学滤料检测中心
关键词: 泡海绵过滤防尘网 孔隙率 滤速 相对湿度
摘要:   空气过滤材料的过滤性能是阻碍芯片制造技术进步的关键问题之一。本研究选取了发泡海绵过滤防尘网作为研究对象,对其微观结构进行了分析。同时设计并开发了空气过滤材料过滤性能测试装置,对发泡海绵过滤防尘网的过滤性能进行了实验研究。研究结果表明:随着孔隙率的降低和过滤速度的降低,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加;而随着相对湿度的增加,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加。
会议日期: 201509
会议举办地点: 江苏阜宁
会议名称: 全国袋式除尘技术研讨会
出版日期: 2015-08-31
母体文献: 全国袋式除尘技术研讨会论文集
分类号: TP2 X51
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