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不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究
| 题名： | 不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究 |
| 正文语种： | 中文 |
| 作者： | 简泽明 付昌 张国军 |
| 作者单位： | 上海船舶电子设备研究所,上海,201108;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051 上海船舶电子设备研究所,上海,201108 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051 |
| 关键词： | MEMS矢量水听器 带宽 灵敏度 |
| 摘要： | 对三种不同梁厚(40μm,20μm,10μm)的微结构进行了模态和静力分析,并制作了相应的水听器进行灵敏度测试,验证了理论分析的正确性。 |
| 会议日期： | 201610 |
| 会议举办地点： | 北京 |
| 会议名称： | 2016年船舶通讯导航学术会议 |
| 出版日期： | 1000-01-20 |
| 母体文献： | 2016年船舶通讯导航学术会议论文集 |
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