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新型双级解耦微机械陀螺的电场及压电耦合特性研究
| 论文题名： | 新型双级解耦微机械陀螺的电场及压电耦合特性研究 |
| 关键词： | 微机械陀螺;双级解耦;压电耦合;有限元法;微机电系统;陀螺仪 |
| 摘要： | 本文运用微机电系统动力学理论对新型MEMS微机械振动式陀螺仪进行研究，探讨了微陀螺仪的驱动方式和驱动结构，并研究了作为驱动力的静电力的计算方法，进而对我们提出的一种新型双级解耦微机械陀螺仪进行了动力学仿真及压-电耦合分析研究。 首先，建立一对驱动梳齿分析模型，研究了影响静电力变化的主要因素：交错位移和外加电势对静电力的影响趋势，分析了电势分布，电磁密度分布等问题。在此基础上继续考察了多组梳齿之间的电势影响以及静电力的变化情况，以两组梳齿为例进行了计算与分析。 其次，确定了影响静电力的主要因素以后，对于交错位移和电势之间的耦合关系，属于压电耦合范畴。本文以压电耦合为研究目标，运用ANSYS序贯耦合法来研究运动半个周期内的，在不同输入电势的情况下，位移与时间的关系。在以上研究的基础上，证明了新型双级解耦微机械陀螺的运动规律是可预见的，与外加电势的输入有关系。 |
| 作者： | 梁青松 |
| 专业： | 机械设计及理论 |
| 导师： | 黄康 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 合肥工业大学 |
| 学位年度： | 2009 |
| 正文语种： | 中文 |
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