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集成温度压力传感器应用研究——轮胎压力监控系统
| 论文题名： | 集成温度压力传感器应用研究——轮胎压力监控系统 |
| 关键词： | 轮胎压力监控;温度压力集成传感器;MEMS加工;温度补偿;热敏电阻 |
| 摘要： | 轮胎压力监控系统是一种通过放置于汽车轮胎内的压力传感器实现监测轮胎压力情况的系统，主要用于防止轮胎压力异常导致的交通事故。因此研究轮胎压力监控系统具有重要意义。 本论文设计了基于氮化硅薄膜的温度、压力集成传感器。考虑到MEMS加工工艺兼容性：温度检测采用热敏电阻；气压检测采用应变电阻法检测。这种设计方案结构简单、制作工艺易于实现。对设计方案进行了理论分析和模拟，制做了集成温度、压力传感器芯片，试验了多种工艺方案。 还设计了温度、压力测试系统，完成了芯片的性能测试。传感器温度和压力精度分别为0.1℃和3hPa。根据测试结果分析了温度对压力测量的影响，并进行了理论推导。提出了两种温度补偿方案。 基于本论文设计的集成传感器，使用CC1020做射频单元CC8051Fxxx做控制器，设计了一套低功耗的系统电路方案。测试了电路的工作性能，估算了系统的使用寿命。系统射频发射功率可达10dBm，理论使用寿命约为4.5年。 |
| 作者： | 王奇 |
| 专业： | 物理电子学 |
| 导师： | 赵湛 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 中国科学院电子学研究所 |
| 学位年度： | 2006 |
| 正文语种： | 中文 |
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