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原文传递用于光掩膜版的工装薄膜的传送机构以及检测系统

专利名称：	用于光掩膜版的工装薄膜的传送机构以及检测系统
摘要：	本实用新型的目的在于提供一种用于光掩膜版的工装薄膜的传送机构以及包括该传送机构的检测系统。其中，所述传送机构包括机械手指、平移机构和升降机构；所述机械手指用于负载所述工装薄膜；所述平移机构包括滚珠丝杆、贯穿于所述滚珠丝杆上的丝杆滑块以及平移驱动结构，其中，所述平移驱动结构驱动所述滚珠丝杆旋转来带动所述丝杆滑块在水平方向上移动；所述升降机构包括升降驱动结构和齿轮齿条传动机构；其中，所述升降驱动结构与所述丝杆滑块连接并被布置于所述丝杆滑块的上方，所述齿轮齿条传动机构与所述机械手指连接并被布置于所述机械手指的下方，所述升降驱动结构驱动所述齿轮齿条传动机构来带动所述机械手指在垂直方向上移动。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	睿励科学仪器(上海)有限公司
发明人：	毛宗钦;朱强铭;熊金磊
专利状态：	有效
申请日期：	2023-02-22T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-10T00:00:00+0800
申请号：	CN202320291890.0
公开号：	CN219990464U
代理机构：	北京启坤知识产权代理有限公司
代理人：	赵晶
分类号：	B65G47/90;B65G43/08;B;B65;B65G;B65G47;B65G43;B65G47/90;B65G43/08
申请人地址：	201203 上海市浦东新区华佗路68号6幢
主权项：	1.一种用于光掩膜版的工装薄膜的传送机构，其中，所述传送机构包括机械手指、平移机构和升降机构；所述机械手指用于负载所述工装薄膜；所述平移机构包括滚珠丝杆、贯穿于所述滚珠丝杆上的丝杆滑块以及平移驱动结构，其中，所述平移驱动结构驱动所述滚珠丝杆旋转来带动所述丝杆滑块在水平方向上移动；所述升降机构包括升降驱动结构和齿轮齿条传动机构；其中，所述升降驱动结构与所述丝杆滑块连接并被布置于所述丝杆滑块的上方，所述齿轮齿条传动机构与所述机械手指连接并被布置于所述机械手指的下方，所述升降驱动结构驱动所述齿轮齿条传动机构来带动所述机械手指在垂直方向上移动。 2.根据权利要求1所述的传送机构，其中，所述平移机构还包括水平滑轨，所述丝杆滑块与所述水平滑轨连接，所述滚珠丝杆通过旋转来带动所述丝杆滑块沿所述水平滑轨在水平方向上移动。 3.根据权利要求1所述的传送机构，其中，所述滚珠丝杆的两端分别布置有丝杆轴承，一端的丝杆轴承通过联轴器与所述平移驱动结构连接。 4.根据权利要求1所述的传送机构，其中，所述升降机构还包括垂直滑轨，所述垂直滑轨分别与所述丝杆滑块以及所述机械手指连接，所述升降驱动结构驱动所述齿轮齿条传动机构来带动所述机械手指沿所述垂直滑轨在垂直方向上移动。 5.根据权利要求1所述的传送机构，其中，所述齿轮齿条传动机构包括齿轮和升降齿条，所述齿轮与所述升降驱动结构连接，所述升降齿条与所述机械手指连接，所述升降驱动结构驱动所述齿轮转动来带动所述升降齿条在垂直方向上移动，进而带动所述机械手指在垂直方向上移动。 6.根据权利要求1所述的传送机构，其中，在载入所述工装薄膜时，所述升降机构处于初始高度，所述平移机构带动所述机械手指在水平方向上从初始位置移动至上片位置，所述升降机构带动所述机械手指下降，所述工装薄膜与所述机械手指分离。 7.根据权利要求6所述的传送机构，其中，所述平移机构带动所述机械手指在水平方向上退回至所述初始位置。 8.根据权利要求7所述的传送机构，其中，在所述工装薄膜的检测完成后，所述平移机构带动所述机械手指在水平方向上移动至所述上片位置；所述升降机构带动所述机械手指在垂直方向上上升至所述初始高度，所述机械手指取回所述工装薄膜，所述平移机构带动所述机械手指在水平方向上退回至所述初始位置。 9.根据权利要求1所述的传送机构，其中，所述传送机构被布置于缓冲腔内，检测机构被布置于检测腔内，两者相连通。 10.一种用于光掩膜版的工装薄膜的检测系统，其中，该检测系统包括相连通的缓冲腔和检测腔，所述缓冲腔内布置有传送机构，所述检测腔内布置有检测机构；所述传送机构包括机械手指、平移机构和升降机构；所述机械手指用于负载所述工装薄膜；所述平移机构包括滚珠丝杆、贯穿于所述滚珠丝杆上的丝杆滑块以及平移驱动结构，其中，所述平移驱动结构驱动所述滚珠丝杆旋转来带动所述丝杆滑块在水平方向上移动；所述升降机构包括升降驱动结构和齿轮齿条传动机构；其中，所述升降驱动结构与所述丝杆滑块连接并被布置于所述丝杆滑块的上方，所述齿轮齿条传动机构被布置于所述机械手指的下方，所述升降驱动结构驱动所述齿轮齿条传动机构来带动所述机械手指在垂直方向上移动。