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一种用于靶材真空包装的套膜装置
| 专利名称： | 一种用于靶材真空包装的套膜装置 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于靶材真空包装的套膜装置，所述套膜装置包括凹字形支架；所述凹字形支架包括底板、支撑板和顶板；所述底板与所述顶板通过支撑板固定连接；所述底板与所述顶板平行设置；所述底板与所述支撑板之间的内部夹角为60°‑80°。所述用于靶材真空包装的套膜装置的结构简单，使用方便，适用于多种尺寸靶材的套膜，能够对靶材真空包装套袋时进行有效固定，避免了在套袋过程中靶材出现晃动，提高了生产效率。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 发明人： | 姚力军;潘杰;王学泽;王徐 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2023-03-31T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2023-11-07T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN202320690034.2 |
| 公开号： | CN219970100U |
| 代理机构： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 徐浩 |
| 分类号： | B65B31/00;B65B5/04;B;B65;B65B;B65B31;B65B5;B65B31/00;B65B5/04 |
| 申请人地址： | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 |
| 主权项： | 1.一种用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述套膜装置包括凹字形支架； 所述凹字形支架包括底板、支撑板和顶板； 所述底板与所述顶板通过支撑板固定连接； 所述底板与所述顶板平行设置； 所述底板与所述支撑板之间的内部夹角为60°-80°。 2.根据权利要求1所述的用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述顶板的厚度为8-15mm。 3.根据权利要求1所述的用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述顶板的长度为280-350mm。 4.根据权利要求1所述的用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述顶板的宽度为150-200mm。 5.根据权利要求1所述的用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述顶板的中间位置设置有镂空。 6.根据权利要求5所述的用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述镂空的长度≤240mm； 所述镂空的宽度≤60mm。 7.根据权利要求1所述的用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述顶板的长度≤所述底板的长度； 所述顶板的宽度＜所述底板的宽度。 8.根据权利要求1所述的用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述底板的厚度为8-15mm。 9.根据权利要求1所述的用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述支撑板为梯形结构。 10.根据权利要求1所述的用于靶材真空包装的套膜装置，其特征在于，所述支撑板的厚度为8-15mm。 |
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