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原文传递气体浓度测量装置及气体浓度测量方法

专利名称：	气体浓度测量装置及气体浓度测量方法
摘要：	本发明涉及气体浓度测量领域，公开一种气体浓度测量装置及气体浓度测量方法。该气体浓度测量装置包括激光发射组件、探测器、密封容器。激光发射组件用于发射激光束。探测器用于接收经中空透明结构反射的激光束。密封容器填充有惰性气体，激光发射组件和探测器均收容于密封容器内。在本发明的气体浓度测量装置中，激光发射组件发射的激光束经中空透明结构反射而由探测器接收，使得激光发射组件和探测器可位于中空透明结构的同一侧，由此使得本发明的气体浓度测量装置在操作时占用的场地较少，并且场地适应性强。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	旭致科技(深圳)有限公司
发明人：	居剑
专利状态：	有效
申请日期：	2022-05-13T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-21T00:00:00+0800
申请号：	CN202210519980.0
公开号：	CN117092063A
代理机构：	深圳市程炎知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	罗水江
分类号：	G01N21/39;G01N21/01;G01N21/03;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/39;G01N21/01;G01N21/03
申请人地址：	518055 广东省深圳市南山区桃源街道龙光社区龙珠三路光前工业区20栋3层308
主权项：	1.一种气体浓度测量装置，用于测量中空透明结构中气体的浓度，其特征在于，所述气体浓度测量装置包括：激光发射组件，用于发射激光束；探测器，用于接收经所述中空透明结构反射的激光束；以及密封容器，填充有惰性气体，所述激光发射组件和所述探测器均收容于所述密封容器内。 2.根据权利要求1所述的气体浓度测量装置，其特征在于，所述激光发射组件包括激光器和激光角度调节装置；所述激光器用于发射所述激光束；所述激光角度调节装置，用于调节所述激光器发射的激光束的角度。 3.根据权利要求2所述的气体浓度测量装置，其特征在于，所述激光角度调节装置包括驱动装置，所述激光器安装于所述驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述激光器转动，以调节所述激光器发射的激光束的角度。 4.根据权利要求2所述的气体浓度测量装置，其特征在于，所述激光角度调节装置包括驱动装置和光反射元件，所述光反射元件安装于所述驱动装置；所述光反射元件用于将所述激光器发射的激光束反射至所述中空透明结构；所述驱动装置用于驱动所述光反射元件转动，以调节所述激光束入射所述中空透明结构的角度。 5.根据权利要求1所述的气体浓度测量装置，其特征在于，还包括滤波元件，所述滤波元件位于所述密封容器内，并且所述滤波元件位于经所述中空透明结构反射的激光束的光路中，所述滤波元件还位于入射所述中空透明结构的激光束的光路中；所述滤波元件安装于所述密封容器的侧壁。 6.一种气体浓度测量方法，用于测量中空透明结构中气体的浓度，其特征在于，所述气体浓度测量方法包括：提供激光发射组件、探测器、密封容器，所述密封容器填充有惰性气体，所述激光发射组件和所述探测器均收容于所述密封容器内；所述激光发射组件发射激光束，所述激光束入射所述中空透明结构；所述探测器接收经所述中空透明结构反射的激光束；根据所述探测器接收的激光束，计算所述中空透明结构中气体的浓度。 7.根据权利要求6所述的气体浓度测量方法，其特征在于，所述中空透明结构中的填充气体为惰性气体；所述根据所述探测器接收的激光束，计算所述中空透明结构中气体的浓度，包括：根据所述探测器接收的激光束，计算得到所述中空透明结构内的光吸收气体的浓度；根据所述光吸收气体的浓度计算得到所述中空透明结构中的所述惰性气体的浓度。 8.根据权利要求6所述的气体浓度测量方法，其特征在于，所述中空透明结构包括第一玻璃层、第二玻璃层、第三玻璃层，所述第一玻璃层和所述第二玻璃层之间形成第一充气层，所述第二玻璃层和所述第三玻璃层之间形成第二充气层；所述激光发射组件发射激光束，所述激光束入射所述中空透明结构，包括：所述激光发射组件发射第一激光束，所述第一激光束以第一入射角度入射所述中空透明结构，所述第一激光束穿过所述第一玻璃层和所述第一充气层，入射至所述第二玻璃层；所述激光发射组件发射第二激光束，所述第二激光束以第二入射角度入射所述中空透明结构，所述第二激光束穿过所述第一玻璃层、所述第一充气层、所述第二玻璃层、所述第二充气层，入射至所述第三玻璃层；所述探测器接收经所述中空透明结构反射的激光束，包括：所述探测器接收经所述第二玻璃层反射的所述第一激光束；所述探测器接收经所述第三玻璃层反射的所述第二激光束；根据所述探测器接收的激光束，计算所述中空透明结构内的气体的浓度，包括：根据所述探测器接收的所述第一激光束，计算所述第一充气层的气体的浓度；根据所述探测器接收的所述第二激光束和所述第一充气层的气体的浓度，计算所述第二充气层的气体的浓度。 9.根据权利要求8所述的气体浓度测量方法，其特征在于，所述根据所述探测器接收的所述第二激光束和所述第一充气层的气体的浓度，计算所述第二充气层的气体的浓度，包括：根据所述探测器接收的第二激光束，计算得到所述第一充气层中的气体和所述第二充气层中的气体合计的光吸收强度；根据所述合计的光吸收强度计算得到气体浓度总和；将所述气体浓度总和减去所述第一充气层的气体的浓度，得到所述第二充气层的气体的浓度。 10.根据权利要求8所述的气体浓度测量方法，其特征在于，所述第一充气层中的填充气体和所述第二充气层中的填充气体均为惰性气体；所述根据所述探测器接收的所述第一激光束，计算所述第一充气层的气体的浓度，包括：根据所述探测器接收的所述第一激光束，计算得到所述第一充气层的光吸收气体的浓度；根据所述第一充气层的光吸收气体的浓度，计算得到所述第一充气层的惰性气体的浓度；所述根据所述探测器接收的所述第二激光束和所述第一充气层的气体的浓度，计算所述第二充气层的气体的浓度，包括：根据所述探测器接收的第二激光束，计算得到所述第一充气层的光吸收气体和所述第二充气层的光吸收气体合计的光吸收强度；根据所述合计的光吸收强度计算得到气体浓度总和；将所述气体浓度总和减去所述第一充气层的惰性气体的浓度，得到所述第二充气层的惰性气体的浓度。