专利名称: |
一种能够实现三轴运动的真空转移装置 |
摘要: |
本实用新型提供了一种能够实现三轴运动的真空转移装置,至少包括样品台,还包括换样室组件、插板阀组件、平移机构、旋转机构和倾转机构。本实用新型通过平移机构、旋转机构和倾转机构实现样品的三轴运动,换样室组件提供密封的换样室保护样品,体积小巧紧凑,结构简单,真空密封性好,可靠度高,能够适用于扫描电镜,可以在保证低成本的同时,完成空气敏感类样品在手套箱和扫描电镜之间的真空密封转移,从而解决了扫描电镜观测空气敏感类样品的真空转移问题。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
浙江;33 |
申请人: |
杭州源位科技有限公司 |
发明人: |
李吉学;党理;郑晓敏 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2023-03-17T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2023-11-28T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN202320523683.3 |
公开号: |
CN220104913U |
代理机构: |
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) |
代理人: |
向庆宁 |
分类号: |
G01N23/2204;G01N23/2251;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/2204;G01N23/2251 |
申请人地址: |
310000 浙江省杭州市萧山区新街街道盛中村 |
主权项: |
1.一种能够实现三轴运动的真空转移装置,至少包括样品台,其特征在于,所述真空转移装置还包括: 换样室组件,其用于密封存放样品并包括壳体、换样密封板以及阀门,其中壳体内设置有换样室; 插板阀组件,其用于控制换样室的启闭且安装于换样室组件侧边,并包括过渡板、插板以及插板手柄,其中插板能够在过渡板内上下移动; 旋转机构,其用于控制样品自转,并包括主支撑板、第一电机以及旋转轴;所述第一电机安装于主支撑板侧边,所述旋转轴一端与第一电机连接,另一端穿过主支撑板和壳体; 平移机构,其用于控制样品沿着旋转轴方向作水平直线运动,并包括平移导向光轴、安装于主支撑板上的丝杆电机以及安装于壳体的法兰螺母,所述丝杆电机连接有丝杆,丝杆平行于旋转轴并与法兰螺母啮合,丝杆穿过主支撑板和壳体并能够在壳体内移动; 倾转机构,其包括倾转轴以及固定于主支撑板上的第二电机,所述倾转轴套设在旋转轴外上并且与旋转轴同轴,所述样品能够随着倾转轴的旋转实现倾斜。 2.根据权利要求1所述的真空转移装置,其特征在于,所述旋转轴远离第一电机的端部设有第一伞齿轮,所述样品台外套设有第二伞齿轮,第二伞齿轮与第一伞齿轮相啮合。 3.根据权利要求1所述的真空转移装置,其特征在于,所述平移导向光轴的一端均固定于壳体上,另一端穿过主支撑板且主支撑板能够沿着两者左右移动。 4.根据权利要求1所述的真空转移装置,其特征在于,所述第二电机轴连接有第一正齿轮,所述倾转轴外套设有第二正齿轮,第二正齿轮与第一正齿轮相啮合,第二正齿轮和倾转轴之间旋转限位。 5.根据权利要求1所述的真空转移装置,其特征在于,所述换样密封板安装于壳体上方并能够封堵换样室。 6.根据权利要求1所述的真空转移装置,其特征在于,所述壳体朝向主支撑板的侧边嵌设有法兰螺母。 7.根据权利要求1所述的真空转移装置,其特征在于,所述阀门与换样室连通。 8.根据权利要求1所述的真空转移装置,其特征在于,所述过渡板上设有供旋转轴移动的通道。 9.根据权利要求8所述的真空转移装置,其特征在于,所述插板安装于通道上方。 |