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原文传递一种能够实现三轴运动的真空转移装置

专利名称：	一种能够实现三轴运动的真空转移装置
摘要：	本实用新型提供了一种能够实现三轴运动的真空转移装置，至少包括样品台，还包括换样室组件、插板阀组件、平移机构、旋转机构和倾转机构。本实用新型通过平移机构、旋转机构和倾转机构实现样品的三轴运动，换样室组件提供密封的换样室保护样品，体积小巧紧凑，结构简单，真空密封性好，可靠度高，能够适用于扫描电镜，可以在保证低成本的同时，完成空气敏感类样品在手套箱和扫描电镜之间的真空密封转移，从而解决了扫描电镜观测空气敏感类样品的真空转移问题。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	杭州源位科技有限公司
发明人：	李吉学;党理;郑晓敏
专利状态：	有效
申请日期：	2023-03-17T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-28T00:00:00+0800
申请号：	CN202320523683.3
公开号：	CN220104913U
代理机构：	杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	向庆宁
分类号：	G01N23/2204;G01N23/2251;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/2204;G01N23/2251
申请人地址：	310000 浙江省杭州市萧山区新街街道盛中村
主权项：	1.一种能够实现三轴运动的真空转移装置，至少包括样品台，其特征在于，所述真空转移装置还包括：换样室组件，其用于密封存放样品并包括壳体、换样密封板以及阀门，其中壳体内设置有换样室；插板阀组件，其用于控制换样室的启闭且安装于换样室组件侧边，并包括过渡板、插板以及插板手柄，其中插板能够在过渡板内上下移动；旋转机构，其用于控制样品自转，并包括主支撑板、第一电机以及旋转轴；所述第一电机安装于主支撑板侧边，所述旋转轴一端与第一电机连接，另一端穿过主支撑板和壳体；平移机构，其用于控制样品沿着旋转轴方向作水平直线运动，并包括平移导向光轴、安装于主支撑板上的丝杆电机以及安装于壳体的法兰螺母，所述丝杆电机连接有丝杆，丝杆平行于旋转轴并与法兰螺母啮合，丝杆穿过主支撑板和壳体并能够在壳体内移动；倾转机构，其包括倾转轴以及固定于主支撑板上的第二电机，所述倾转轴套设在旋转轴外上并且与旋转轴同轴，所述样品能够随着倾转轴的旋转实现倾斜。 2.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，所述旋转轴远离第一电机的端部设有第一伞齿轮，所述样品台外套设有第二伞齿轮，第二伞齿轮与第一伞齿轮相啮合。 3.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，所述平移导向光轴的一端均固定于壳体上，另一端穿过主支撑板且主支撑板能够沿着两者左右移动。 4.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，所述第二电机轴连接有第一正齿轮，所述倾转轴外套设有第二正齿轮，第二正齿轮与第一正齿轮相啮合，第二正齿轮和倾转轴之间旋转限位。 5.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，所述换样密封板安装于壳体上方并能够封堵换样室。 6.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，所述壳体朝向主支撑板的侧边嵌设有法兰螺母。 7.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，所述阀门与换样室连通。 8.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，所述过渡板上设有供旋转轴移动的通道。 9.根据权利要求8所述的真空转移装置，其特征在于，所述插板安装于通道上方。