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原文传递基于干涉Z扫描的热光效应测试装置及光学系统

专利名称：	基于干涉Z扫描的热光效应测试装置及光学系统
摘要：	本实用新型涉及一种基于干涉Z扫描的热光效应测试装置及光学系统，包括：激光器，其能够发射出激光光束；分束组件，所述分束组件将所述激光光束被分束成第一光束和第二光束，所述第一光束为参考光；移动样品台，其用于放置样品，所述第二光束经移动样品台上的样品后，获得第三光束；第一探测器，所述第一探测器能够采集第一光束的光信息；第二探测器，所述第二探测器能够采集第三光束的光信息；第三探测器，所述第三探测器能够采集第一光束与第三光束相互干涉的光信息。其测试精度高，且不依赖于激光相干长度，适用范围广。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	朗伯(苏州)光学科技有限公司
发明人：	刘春敏;袁亚飞;张书博
专利状态：	有效
申请日期：	2023-03-31T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-03T00:00:00+0800
申请号：	CN202320683750.8
公开号：	CN219957345U
代理机构：	苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	吴竹慧
分类号：	G01N21/45;G01N21/01;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/45;G01N21/01
申请人地址：	215000 江苏省苏州市太仓市科教新城健雄路20号大学科技园一期3号楼301-45号
主权项：	1.一种基于干涉Z扫描的热光效应测试装置，其特征在于，包括：激光器，其能够发射出激光光束；分束组件，所述分束组件将所述激光光束被分束成第一光束和第二光束，所述第一光束为参考光；移动样品台，其用于放置样品，所述第二光束经移动样品台上的样品后，获得第三光束；第一探测器，所述第一探测器能够采集第一光束的光信息；第二探测器，所述第二探测器能够采集第三光束的光信息；第三探测器，所述第三探测器能够采集第一光束与第三光束相互干涉的光信息。 2.根据权利要求1所述的基于干涉Z扫描的热光效应测试装置，其特征在于，所述第二探测器前侧设置有第一光阑，所述第三探测器前设置有第二光阑。 3.根据权利要求1所述的基于干涉Z扫描的热光效应测试装置，其特征在于，还包括驱动源，所述驱动源驱动移动样品台沿光轴方向移动。 4.根据权利要求1所述的基于干涉Z扫描的热光效应测试装置，其特征在于，所述移动样品台上样品的前侧设置有第一短焦距透镜，所述移动样品台上样品的后侧设置有第二短焦距透镜，所述第一短焦距透镜将第二光束聚焦至样品上，所述第二短焦距透镜对第三光束进行准直操作。 5.根据权利要求4所述的基于干涉Z扫描的热光效应测试装置，其特征在于，所述第一短焦距透镜和第二短焦距透镜的焦距为35mm。 6.根据权利要求1所述的基于干涉Z扫描的热光效应测试装置，其特征在于，所述移动样品台上的样品的前侧或后侧设置有长焦距透镜，所述移动样品台上的样品在长焦透镜的焦点左右移动。 7.根据权利要求1所述的基于干涉Z扫描的热光效应测试装置，其特征在于，所述激光器为Nd:YAG激光器。 8.根据权利要求1所述的基于干涉Z扫描的热光效应测试装置，其特征在于，所述激光器的激光波长为1064nm，脉冲持续时间为8ns，脉冲重复频率为40kHz。 9.根据权利要求1所述的基于干涉Z扫描的热光效应测试装置，其特征在于，所述第一探测器、第二探测器和第三探测器为CCD。 10.一种光学系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的基于干涉Z扫描的热光效应测试装置。
所属类别：	实用新型