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原文传递成膜测试装置及测试方法

专利名称：	成膜测试装置及测试方法
摘要：	本申请属于同步辐射技术领域，提供了一种成膜测试装置及测试方法，成膜测试装置包括同步辐射器、晶体反射组件、成膜组件及探测器；同步辐射器能够出射沿水平方向的X射线；晶体反射组件设置于同步辐射器的出射端，用于接收X射线并使X射线朝向竖直方向偏转预设角度；成膜组件包括能够容置成膜液体的成膜容器，成膜液体能够在成膜容器内形成沿水平方向的膜层，经晶体反射组件反射的X射线能够穿透膜层；探测器设置于成膜组件的出光侧。本申请旨在解决现有技术中同步辐射装置在依赖于重力的液体原位成膜过程中应用受限的技术问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳综合粒子设施研究院
发明人：	李牧;李雷;李振中;唐正;石祥;周冬;崔艺涛
专利状态：	有效
申请日期：	2023-07-04T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-14T00:00:00+0800
申请号：	CN202310815232.1
公开号：	CN117054455A
代理机构：	深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人：	郭雨桐
分类号：	G01N23/20;G01N23/20008;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/20;G01N23/20008
申请人地址：	518000 广东省深圳市光明区新湖街道圳园路268号3号楼3-6层
主权项：	1.一种成膜测试装置，其特征在于，包括：同步辐射器，能够出射沿水平方向的X射线；晶体反射组件，设置于所述同步辐射器的出射端，用于接收X射线并使X射线朝向竖直方向偏转预设角度；成膜组件，包括能够容置成膜液体的成膜容器，所述成膜液体能够在所述成膜容器内形成沿水平方向的膜层，经所述晶体反射组件反射的X射线能够穿透所述膜层；及探测器，设置于所述成膜组件的出光侧，以用于接收X射线。 2.如权利要求1所述的成膜测试装置，其特征在于，所述预设角度为90°，经所述晶体反射组件反射的X射线能够垂直穿透所述膜层。 3.如权利要求2所述的成膜测试装置，其特征在于，所述晶体反射组件包括晶体反射镜，所述晶体反射镜的晶面能够使X射线的入射角为45°，并使X射线的出射角为45°。 4.如权利要求3所述的成膜测试装置，其特征在于，所述晶体反射镜的镜面与水平方向呈45°夹角。 5.如权利要求1-4任一项所述的成膜测试装置，其特征在于，所述成膜组件还包括具有容置空间的外壳，所述外壳上形成有气体入口和气体出口，所述成膜容器连接于所述外壳的内壳壁，以形成容置成膜液体的容置槽；所述外壳的壳壁上分别形成有用于透射X射线的透射入口和透射出口，所述透射入口和所述透射出口分别与所述膜层的两个侧面相对。 6.如权利要求1-4任一项所述的成膜测试装置，其特征在于，所述晶体反射组件位于所述成膜组件的下方，所述探测器位于所述成膜组件的上方；或所述晶体反射组件位于所述成膜组件的上方，所述探测器位于所述成膜组件的下方。 7.一种成膜测试方法，其特征在于，包括以下步骤：采用成膜液体制备膜层，所述膜层的层面平行于水平方向；采用同步辐射器沿水平方向向晶体反射组件照射X射线，通过晶体反射组件使所述X射线偏转预设角度，并使所述X射线在所述膜层成型的过程中穿透所述膜层；采用探测器接收透射出所述膜层的X射线。 8.如权利要求7所述的成膜测试方法，其特征在于，所述预设角度为90°，所述X射线在所述膜层成型的过程中垂直穿透所述膜层。 9.如权利要求7或8所述的成膜测试方法，其特征在于，所述采用成膜液体制备膜层的步骤中，所述膜层位于密闭空间内，所述密闭空间内可形成真空环境或形成具有预设气压的气体环境。 10.如权利要求7或8所述的成膜测试方法，其特征在于，所述采用成膜液体制备膜层步骤中，制备膜层的方法包括挥发成膜、旋转涂布成膜、刮刀涂布成膜和槽膜涂布成膜中的一种或多种的组合。
所属类别：	发明专利