详情

原文传递采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置

专利名称：	采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置
摘要：	本实用新型公开了采用MEMS‑MOS气体传感器的恶臭气体监测装置。克服了现有技术在进行恶臭气体监测时成本高、耗时长、不能兼顾检测气体种类范围和检测精度等问题。装置包括传感器仓体、真空泵和样气进气口，真空泵的泵出口和泵入口分别连接废气出口和传感器仓体的出气孔，主仓侧面设有用信号采集板覆盖的凹槽，凹槽底部对应气体传感器两侧的位置设有进风口和排气口，进气孔连通进风口，出气孔连通排气口。此恶臭气体监测装置检测速度快、精度高、适用范围广。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京艾森泰科科技有限责任公司
发明人：	李扬;姜大海
专利状态：	有效
申请日期：	2023-06-26T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-17T00:00:00+0800
申请号：	CN202321621809.7
公开号：	CN220040314U
代理机构：	北京远大卓悦知识产权代理有限公司
代理人：	卢富华
分类号：	G01N27/00;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/00
申请人地址：	100040 北京市石景山区政达路2号CRD银座B座1206室
主权项：	1.采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置，其特征在于，包括传感器仓体、真空泵(1)和样气进气口(2)，所述样气进气口(2)通过电磁阀(3)连接在传感器仓体的进气孔(4)，真空泵(1)的泵出口和泵入口分别连接废气出口(5)和传感器仓体的出气孔(6)，所述传感器仓体包括安装有气体传感器(7)的信号采集板(8)和与信号采集板(8)可拆卸连接的主仓(9)，所述主仓(9)侧面设有用信号采集板(8)覆盖的凹槽(10)，凹槽(10)底部对应气体传感器(7)两侧的位置设有进风口(11)和排气口(12)，所述进风口(11)和排气口(12)为柱状通孔，进气孔(4)和出气孔(6)从主仓(9)的两侧向内部延伸到凹槽(10)底部，进气孔(4)连通进风口(11)，出气孔(6)连通排气口(12)。 2.根据权利要求1所述的采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置，其特征在于，所述凹槽(10)底部设置有挡风板(13)，所述挡风板(13)上对应进风口(11)和排气口(12)的位置设有滤孔(14)和多对不同大小的通风孔(15)，所述滤孔(14)中设置有用于过滤固体杂质的滤网，挡风板(13)的中心垂直连接有旋转轴(16)，所述旋转轴(16)穿过主仓(9)并与外部的旋钮(17)固定连接。 3.根据权利要求1所述的采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置，其特征在于，所述传感器仓体包括级联的传感器单体仓(18)和传感器阵列仓(19)，所述传感器单体仓(18)内设置有单个高灵敏度的气体传感器(7)，所述传感器阵列仓(19)内设置有传感器阵列，传感器阵列由多个用于检测不同气体的气体传感器(7)组成。 4.根据权利要求3所述的采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置，其特征在于，所述传感器单体仓(18)内的进风口(11)和排气口(12)为圆形，所述传感器阵列仓(19)内的进风口(11)和排气口(12)为短轴在同一直线上的椭圆形。 5.根据权利要求1所述的采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置，其特征在于，所述电磁阀(3)为三通电磁阀，三通电磁阀的一个接口连接有零气进气口(20)。 6.根据权利要求1所述的采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置，其特征在于，所述主仓(9)与信号采集板(8)连接的位置安装有密封圈(21)。 7.根据权利要求1所述的采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置，其特征在于，所述传感器仓体带有气体加热装置。 8.根据权利要求1所述的采用MEMS-MOS气体传感器的恶臭气体监测装置，其特征在于，还包括用于为装置降温的风扇(22)。
所属类别：	实用新型