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原文传递一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪

专利名称：	一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪
摘要：	发明公开了一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，包括高通量微聚焦X射线发生器、多滤组件、快门组件、微区相机、广角相机、大口径X射线椭球玻璃管聚焦镜固定通用结构、三轴调试模块、三轴移动机构和设备外壳。本技术方案提供高精度动态调整高压控制模块，通过三轴调试模块连续调整X射线源与玻璃聚焦镜固定通用结构间的相对位置可以得到一种高通量的微聚焦X射线发生器，同时全面的结构设计可适配不同规格的X射线光学元器件，并且将适合用于大多数检测元素的八种滤光片集成在光路系统中，并且设计一种确保安全、避免损耗和快速响应的X射线快门。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏一六仪器有限公司
发明人：	马云
专利状态：	有效
申请日期：	2023-10-19T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-28T00:00:00+0800
申请号：	CN202311359086.2
公开号：	CN117129505A
分类号：	G01N23/223;H05G1/02;G21K1/00;G;H;G01;H05;G21;G01N;H05G;G21K;G01N23;H05G1;G21K1;G01N23/223;H05G1/02;G21K1/00
申请人地址：	215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇成功路168号
主权项：	1.一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：包括高通量微聚焦X射线发生器、多滤组件、快门组件、微区相机、广角相机、玻璃管聚焦镜固定通用结构、三轴调试模块、三轴移动机构和设备外壳；所述三轴移动机构包括X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构；所述X轴移动机构安装于设备外壳的底部，所述Y轴移动机构安装于X轴移动机构的活动端，所述Z轴移动机构安装于设备外壳的内部，所述高通量微聚焦X射线发生器、多滤组件、快门组件、微区相机、广角相机、玻璃管聚焦镜固定通用结构、三轴调试模块均安装于Z轴移动机构的活动端。 2.如权利要求1所述的一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述高通量微聚焦X射线发生器包括：基板、X射线源、大口径X射线椭球玻璃管聚焦镜和玻璃管聚焦镜固定通用结构，所述X射线源安装于基板上，所述基板的下方安装有三轴调试模块，所述玻璃管聚焦镜通过玻璃管聚焦镜固定通用结构安装于三轴调试模块的下部分。 3.如权利要求2所述的一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述三轴调试模块包括基座（1）和调整座（2），所述X射线源与基座（1）相对固定，所述基座（1）下端面为基座面，所述X射线源的射线发出方向垂直于基座面，所述玻璃管聚焦镜固定通用结构与调整座（2）固定连接，所述调整座（2）的上端面为调整座面，所述基座面与调整座面贴合。 4.如权利要求3所述的一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述三轴调试模块在X方向设置有三个超细牙孔位A，三个所述超细牙孔位A内均设置有超细牙螺钉A；所述三轴调试模块在Y方向同样有三个超细牙孔位B，三个所述超细牙孔位B内均设置有超细牙螺钉B。 5.如权利要求4所述的一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述玻璃管聚焦镜固定通用结构包括套筒（3）和固定圈（5），所述玻璃管聚焦镜固定于套筒（3）内部，所述套筒（3）通过细螺纹和调整座（2）进行连接，所述套筒（3）和调整座（2）之间通过紧固螺母（4）进行校正与锁附，所述玻璃管聚焦镜整体形状为上下弧形，所述套筒（3）的底端设置有圆形缩口，所述玻璃管聚焦镜的下端通过套筒（3）下端的圆形缩口进行固定限位，所述玻璃管聚焦镜的上端通过固定圈（5）与套筒（3）进行固定。 6.如权利要求5所述的一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：多滤组件和快门组件均集成于三轴调试模块上，所述多滤组件由一个由8种不同滤光片转盘、齿轮以及步进电机组成；所述快门组件由快门、快门接近开关以及直流电机组成。 7.如权利要求6所述的一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述X轴移动机构包括X轴驱动电机（21）、X轴丝杆（22）、X轴滑轨（23）和X轴滑块（24），所述X轴驱动电机（21）的输出端与X轴丝杆（22）传动连接，所述X轴滑块（24）与X轴滑轨（23）滑动连接，所述X轴丝杆（22）与X轴滑块（24）螺纹连接。 8.如权利要求7所述的一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述Y轴移动机构包括Y轴滑轨（41）、Y轴滑块（42）、Y轴驱动电机（43）、Y轴丝杆（44）和检测台（45），所述Y轴滑轨（41）与X轴滑块（24）固定连接，所述Y轴丝杆（44）与Y轴滑轨（41）转动连接，所述Y轴驱动电机（43）与Y轴滑轨（41）滑动连接，所述Y轴驱动电机（43）的输出端与Y轴丝杆（44）传动连接，所述Y轴驱动电机（43）与Y轴丝杆（44）螺纹连接，所述检测台（45）与Y轴驱动电机（43）固定连接。 9.如权利要求8所述的一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述Z轴移动机构包括Z轴驱动电机（31）、Z轴丝杆（32）、Z轴滑动模组（33）、Z轴滑轨（34）和升降台（35），所述Z轴滑动模组（33）与Z轴滑轨（34）滑动连接，所述Z轴驱动电机（31）的输出端与Z轴丝杆（32）传动连接，所述Z轴丝杆（32）与Z轴滑动模组（33）螺纹连接，所述升降台（35）与Z轴滑动模组（33）固定连接。 10.如权利要求9所述的一种微小区域检测的高通量能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述X轴驱动电机（21）、Z轴驱动电机（31）和Y轴驱动电机（43）均采用内置高分辨率智能编码器的步进电机，所述Y轴滑轨（41）、X轴滑轨（23）和Z轴滑轨（34）内均安装有光栅尺。
所属类别：	发明专利