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原文传递真空馈入装置

专利名称：	真空馈入装置
摘要：	本发明适用于精密设备技术领域，提供了一种真空馈入装置，包括入射管、偏转连接管以及密封件。在偏转连接管绕第一轴线转动时，密封件上的出光口会沿圆形轨迹运动。此时通过密封件的旋转同时带动出光口绕第二轴线转动，两个运动状态相互叠加可以实现出光口在一个与第一轴线相互平行的平面内移动。现有技术中的真空馈入装置相比，在入射信号发生横向平移，可以同时对出光口的位置进行调整。从而实现入射信号在真空室表面实现横向切割运动，方便在较大调节区域内实现信号接收。且提高了整体密封性，在整个转动调节状态中环能稳定保持真空度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳综合粒子设施研究院
发明人：	朱庆浩;蔡建栋;仲银鹏
专利状态：	有效
申请日期：	2023-08-31T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-14T00:00:00+0800
申请号：	CN202311119228.8
公开号：	CN117054452A
代理机构：	深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人：	田甜
分类号：	G01N23/00;G02B7/00;F16J15/16;G;F;G01;G02;F16;G01N;G02B;F16J;G01N23;G02B7;F16J15;G01N23/00;G02B7/00;F16J15/16
申请人地址：	518000 广东省深圳市光明区新湖街道圳园路268号3号楼3-6层
主权项：	1.一种真空馈入装置，其特征在于，包括：入射管，用于供入射信号通过；偏转连接管，所述偏转连接管的第一端与所述入射管的出射端密封连接，所述偏转连接管相对于所述入射管具有绕第一轴线旋转的自由度，所述偏转连接管的轴线与所述第一轴线呈夹角设置，所述第一轴线为所述入射管的轴线；以及密封件，盖设在所述偏转连接管的第二端，且与所述偏转连接管的第二端密封连接，所述密封件上还设置有出光口，所述密封件相对于所述偏转连接管具有绕第二轴线旋转的自由度，所述第二轴线与所述第一轴线相交且呈夹角设置。 2.如权利要求1所述的真空馈入装置，其特征在于，所述偏转连接管的第一端与所述入射管之间设置有第一差动法兰，所述偏转连接管的第一端部通过所述第一差动法兰与所述入射管密封且转动连接，所述偏转连接管的第二端部与所述密封件之间设置有第二差动法兰，所述偏转连接管的第二端部通过所述第二差动法兰与所述密封件密封且转动连接。 3.如权利要求2所述的真空馈入装置，其特征在于，所述第一差动法兰包括第一法兰件、第二法兰件以及驱动机构，所述第一法兰件上设置有环形密封槽和连接通道，所述连接通道的第一端与所述环形密封槽连通，所述连接通道的另一端用于与外部负压装置连通，所述第二法兰件与所述第一法兰件转动连接，且所述第二法兰件与所述第一法兰件同轴设置，所述第二法兰件上设置有环形密封部，所述环形密封部插设于所述环形密封槽内，所述环形密封部通过密封结构与所述环形密封槽转动密封，所述环形密封部的底面与所述环形密封槽的底面之间间隔设置、且两者之间形成密封腔，所述密封腔与所述连接通道的第一端连通，所述驱动机构的驱动端与所述第一法兰件和/或所述第二法兰件相连，用于驱动所述第一法兰件与所述第二法兰件之间相对转动。 4.如权利要求3所述的真空馈入装置，其特征在于，所述密封结构包括两个密封圈组，两个所述密封圈组分别设于所述环形密封部以及所述环形密封槽的侧壁之间的间隙处，且每个所述密封圈组中均包括至少一个密封圈。 5.如权利要求4所述的真空馈入装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动涡轮、转动蜗杆以及动力单元，所述驱动涡轮设置在所述第一法兰件或所述第二法兰件上，所述转动蜗杆与所述驱动涡轮啮合，所述动力单元的驱动端与所述转动蜗杆的端部连接，且所述动力单元用于驱动所述转动蜗杆转动。 6.如权利要求1至5任一项所述的真空馈入装置，其特征在于，所述真空馈入装置还包括出射管，所述出射管与所述出光口连通，所述出射管与所述密封件密封连接，所述出射管相对所述密封件具有绕第三轴线旋转的自由度，所述第三轴线为所述出射管的轴线，所述第三轴线与所述第一轴线平行。 7.如权利要求6所述的真空馈入装置，其特征在于，所述真空馈入装置还包括第三差动法兰，所述第三差动法兰设置在所述出射管的端部与所述密封件之间，所述出射管通过所述第三差动法兰与所述密封件密封且转动连接。 8.如权利要求6所述的真空馈入装置，其特征在于，所述出射管上还设置有伸缩机构，所述伸缩机构用于调节所述伸缩机构与所述出射管组成的组合结构在沿所述第三轴线上的总长度。 9.如权利要求8所述的真空馈入装置，其特征在于，所述伸缩机构包括第一连接件、第二连接件、伸缩调节管体以及导向单元，所述第一连接件与所述第二连接件相互间隔设置，所述第一连接件与所述第二连接件上均设置有安装通道，所述伸缩调节管体位于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述伸缩调节管体的两端分别与所述安装通道密封连接，所述伸缩调节管体与两个所述安装通道组成组合通道，所述组合通道与所述出射管连通，所述导向单元用于限定所述第一连接件与所述第二连接件仅能在沿所述第三轴线方向上相互远离或靠近。 10.如权利要求9所述的真空馈入装置，其特征在于，所述导向单元包括安装套筒与滑动杆，所述安装套筒的轴线以及所述滑动杆的轴线均与所述第三轴线相互平行，所述安装套筒设置在所述第一连接件朝向所述第二连接件的一面上，且所述安装套筒的朝向所述第二连接件的一端开放，所述滑动杆设置在所述第二连接件朝向所述第一连接件的一面上，所述滑动杆朝向所述第一连接件的一端滑动插设于所述安装套筒内。
所属类别：	发明专利