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原文传递 料盒适配器
专利名称: 料盒适配器
摘要: 本实用新型公开了料盒适配器,包括承载台、适配器机构、若干对挡块;承载台上设有感应板,感应板上设有若干定位杆;适配器机构放置于感应板上,适配器机构包括接触板,接触板卡合设于定位杆上,接触板上固定连接有支板,支板上铰链连接有适配器门,适配器门与接触板相卡合,支板与适配器门上均连接有一对固定杆,相邻一对固定杆之间连接有伸缩杆;挡块安装于接触板上。本实用新型的料盒适配器,可以与光学检测机进行配合使用,进而可以使得光学检测机能够适用于不同类型,不同尺寸的晶圆料盒,工作人员无需更换不同的载台,不仅可以提高晶圆的检测效率,缩短晶圆的生产周期,同时也可以减少购买设备的成本投入。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 苏州康钛检测科技有限公司
发明人: 顾振鹏;凌栋;茅志敏
专利状态: 有效
申请日期: 2023-06-25T00:00:00+0800
发布日期: 2023-11-21T00:00:00+0800
申请号: CN202321614595.0
公开号: CN220063816U
代理机构: 苏州三英知识产权代理有限公司
代理人: 梁语嫣
分类号: G01N21/01;H01L21/66;G;H;G01;H01;G01N;H01L;G01N21;H01L21;G01N21/01;H01L21/66
申请人地址: 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城NW11幢407室
主权项: 1.料盒适配器,其特征在于,包括: 承载台,所述承载台上设有感应板,所述感应板上设有若干定位杆; 适配器机构,放置于所述感应板上,所述适配器机构包括接触板,所述接触板卡合设于所述定位杆上,所述接触板上固定连接有支板,所述支板上铰链连接有适配器门,所述适配器门与接触板相卡合,所述支板与适配器门上均连接有一对固定杆,相邻一对所述固定杆之间连接有伸缩杆; 若干对挡块,安装于所述接触板上。 2.如权利要求1所述的料盒适配器,其特征在于,所述接触板上设有若干定位孔,所述定位孔与所述定位杆相对应,所述定位杆插设于定位孔内。 3.如权利要求1所述的料盒适配器,其特征在于,所述接触板和所述适配器门上均连接有把手。 4.如权利要求1所述的料盒适配器,其特征在于,所述挡块包括挡块主体,所述挡块主体上连接有立板。 5.如权利要求4所述的料盒适配器,其特征在于,所述挡块主体下底部螺纹连接有连接杆,所述连接杆上连接有吸盘,所述连接杆内设有喇叭腔,所述吸盘上贯通设有通孔,所述喇叭腔通过通孔与外界相连通,所述挡块主体上设有通气孔,所述通气孔与喇叭腔相连通。 6.如权利要求5所述的料盒适配器,其特征在于,所述喇叭腔内设有封堵球,所述封堵球的直径大于所述通孔的直径,所述封堵球为橡胶材质。 7.如权利要求6所述的料盒适配器,其特征在于,所述封堵球上连接有拉绳,所述拉绳的一端贯通所述挡块主体,所述拉绳位于挡块主体外的一端连接有拉块。 8.如权利要求7所述的料盒适配器,其特征在于,所述喇叭腔最大直径处设有网架,所述喇叭腔内设有弹簧,所述弹簧设于所述拉绳外侧,且设于封堵球与网架之间。
所属类别: 实用新型
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