详情

原文传递一种磁控溅射靶材制备方法及其加工转运装置

专利名称：	一种磁控溅射靶材制备方法及其加工转运装置
摘要：	本发明提供的一种磁控溅射靶材制备方法及其加工转运装置，涉及溅射靶材技术领域，其特征在于，通过真空感应熔炼炉将原料进行充分混合，然后通过浇铸、机加工与铜板包覆；一种磁控溅射靶材加工转运装置包括车架和工作台，所述车架的外形为长方体，且两侧带有车轮，所述工作台的下端面通过升降架与车架活动连接，其特征在于，还包括机械手，所述机械手的下方带有滑轨，所述滑轨的下端面带有固定螺栓与工作台固定连接，所述安装座与移动座滑动连接，所述固定臂的两侧对称设有旋转电机，所述旋转电机的内侧带有机械臂杆。本发明的优点：产品电阻率高，电阻率温度系数低，装置搬运效率高，同时可以适应不同工序。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	温州市铜仁新材料研究院
发明人：	周通;胡萍;唐朝盛;王钰;唐婧涵
专利状态：	有效
申请日期：	2023-08-22T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-14T00:00:00+0800
申请号：	CN202311059962.X
公开号：	CN117049153A
代理机构：	东台金诚石专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	张佳盈
分类号：	B65G47/90;B62B3/04;B62B5/00;B25J5/00;C22C1/02;C23C14/35;C22C30/00;B22C9/22;B;C;B65;B62;B25;C22;C23;B22;B65G;B62B;B25J;C22C;C23C;B22C;B65G47;B62B3;B62B5;B25J5;C22C1;C23C14;C22C30;B22C9;B65G47/90;B62B3/04;B62B5/00;B25J5/00;C22C1/02;C23C14/35;C22C30/00;B22C9/22
申请人地址：	325000 浙江省温州市黎明中路280号
主权项：	1.一种磁控溅射靶材制备方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)将原料进行除杂后按配比混合，所述原料包括Si 48至55重量百分比，Cr 38至43重量百分比，Ni余量； (2)将石墨氧化镁复合坩埚清洁干净后，将其防止在真空感应熔炼炉中进行预加热，所述预加热的温度为800至850℃； (3)完成预加热后，将Cr和Ni原料投入到坩埚中进行加热，所加热温度为1380至1420℃，使其初步熔化混合； (4)将Si预加热至850至900℃，然后保温保压储存2.5至4个小时，然后投入到步骤三中的坩埚中使Si与Cr和Ni原料混合； (5)将步骤四中的混合物进行升温，所述升温的温度为2000至2100℃，在达到温度后维持15至20分钟； (6)将步骤五中的混合液静置冷却，其降温温度到1430至1470℃后，继续存放2至4小时，进行充分反应； (7)将步骤六中的混合液进行浇铸并冷却成型，随后通过机加工将坯件表面平整光滑； (8)在坯件的背面和四周通过银焊料与铜板相连，并进行弯折整理，使铜板包覆住坯件。 2.一种磁控溅射靶材加工转运装置，包括车架(1)和工作台(10)，所述车架(1)的外形为长方体，且两侧带有车轮(2)，所述工作台(10)的下端面通过升降架(7)与车架(1)活动连接，其特征在于，还包括机械手(12)，所述机械手(12)位于工作台(10)的上方，所述机械手(12)的下方带有滑轨(11)，所述滑轨(11)的下端面带有固定螺栓与工作台(10)固定连接，所述机械手(12)的下端面带有安装座(15)，所述安装座(15)的内侧带有移动座(16)，所述安装座(15)与移动座(16)滑动连接，所述移动座(16)的内部带有丝杠(18)，所述安装座(15)的内部带有驱动机构与丝杠(18)螺纹连接，所述移动座(16)远离安装座(15)的两侧带有移动块(17)与滑轨(11)滑动连接，所述移动块(17)的内部带有移动轮，所述移动轮用于在滑轨(11)上移动；所述机械手(12)还包括固定臂(19)，所述固定臂(19)位于安装座(15)远离控制模块(13)的一侧，所述控制模块(13)的上端带有传动链线槽与安装座(15)相连，所述固定臂(19)的一侧通过旋转机构与安装座(15)转动连接，所述固定臂(19)的两侧对称设有旋转电机(20)，所述旋转电机(20)的内侧带有机械臂杆(21)，所述机械臂杆(21)与固定臂(19)和旋转电机(20)转动连接，所述机械臂杆(21)远离固定臂(19)的一侧带有固定架(22)。 3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射靶材加工转运装置，其特征在于，所述车架(1)的两侧对称设有维修盖(5)，所述车架(1)与维修盖(5)相邻的一侧带有测量架(3)，所述测量架(3)通过固定螺栓与车架(1)固定连接，所述测量架(3)远离车架(1)的一次额带有定位块(4)，所述定位块(4)的外形为圆柱形，且远离车架(1)的一端带有橡胶垫，所述定位块(4)通过螺栓与测量架(3)可调节连接。 4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射靶材加工转运装置，其特征在于，所述维修盖(5)的两侧对称设有安装槽，所述安装槽的内侧带有电动推杆(6)，所述电动推杆(6)的一端位于安装槽的内侧，并通过固定螺栓固定，所述电动推杆(6)的推杆部分与工作台(10)固定连接，用于抬升工作台(10)。 5.根据权利要求3所述的一种磁控溅射靶材加工转运装置，其特征在于，所述车架(1)远离测量架(3)的一侧带有信号接收装置(8)，用于远程接收控制信号，所述信号接收装置(8)的上方带有推把(9)，所述推把(9)靠近工作台(10)的一侧，且在两个维修盖(5)的上方带有挡板(14)，所述挡板(14)的材质为耐高温玻璃，用于隔绝工作台(10)的热气。 6.根据权利要求2所述的一种磁控溅射靶材加工转运装置，其特征在于，所述固定臂(19)、机械臂杆(21)和固定架(22)的靠内一侧带有隔热板，用于阻隔坩埚或者其他物品热量对机械手(12)的直接伤害。 7.根据权利要求6所述的一种磁控溅射靶材加工转运装置，其特征在于，所述机械臂杆(21)的一侧，且在固定臂(19)和固定架(22)之间带有附加杆(23)，所述附加杆(23)通过固定螺栓与机械臂杆(21)可拆卸连接，所述附加杆(23)的两侧对称带有固定环(24)，所述固定环(24)靠近机械臂杆(21)的一侧带有电动伸缩杆，所述附加杆(23)和固定环(24)用于夹取圆柱外形产品。
所属类别：	发明专利