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原文传递质量输运装置

专利名称：	质量输运装置
摘要：	质量输运装置，属于半导体工艺设备的改进技术。本装置是由上盖、底座及带有许多微孔的隔板组成的一密封箱体，其上盖与隔板形成反应室，隔板与底座底部形成输运室。本实用新型结构简单，操作安全，很好地保证质量输运的质量，提高了器件的成品率。本装置可广泛应用于Ⅲ－Ⅴ族化合物发光器件，抛物镜，微透镜阵列的制造以及它们的单片集成的制造的工艺过程中。
专利类型：	实用新型专利
申请人：	清华大学
发明人：	孙成城; 何淑芳; 江剑平
专利状态：	有效
申请日期：	1993-01-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN93200348.6
公开号：	CN2151538
代理机构：	清华大学专利事务所
代理人：	廖元秋
分类号：	H01L21/00
申请人地址：	100084北京市海淀区清华园
主权项：	一种质量输运装置，其特征在于由上盖、底座和带有许多微孔的隔板所组成，所说的上盖与底座构成一密封箱体，所说的隔板放置在箱体之中，将该箱体分成上下二层空间，上层为反应室，下层为输运室。
所属类别：	实用新型