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原文传递集成电路静电仿真失效分析仪

专利名称：	集成电路静电仿真失效分析仪
摘要：	本实用新型涉及一种集成电路静电仿真失效分析仪，包括用于罩设在静电仿真器外并于该静电仿真器上方形成安装空间的箱体；装设于该安装空间内的三轴移动架；装设于该三轴移动架的移动末端并用于拍摄该静电仿真器上样品的摄像头，该摄像头的背面设有用于固定在该三轴移动架移动末端上的镜头固定器，该镜头固定器上固定有热点传感器，该镜头的外周设有灯圈。本实用新型解决了现有技术中的热点分析实验无法准确定位失效点位的技术问题。本装置不必更改原有静电仿真器设备结构，可确保原有设备功能运作正常，无论静电试验失效或闩锁试验失效时，都可以快速初步定位失效位置。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	苏试宜特(上海)检测技术股份有限公司
发明人：	潘祥仁
专利状态：	有效
申请日期：	2023-03-27T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-10T00:00:00+0800
申请号：	CN202320623548.6
公开号：	CN219996926U
代理机构：	上海唯源专利代理有限公司
代理人：	屈明明
分类号：	G01N21/956;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/956
申请人地址：	201103 上海市闵行区宜山路1618号8幢C101室
主权项：	1.一种集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，包括：用于罩设在静电仿真器外并于所述静电仿真器上方形成安装空间的箱体；装设于所述安装空间内的三轴移动架；装设于所述三轴移动架的移动末端并用于拍摄所述静电仿真器上样品的摄像头，所述摄像头的背面设有用于固定在所述三轴移动架移动末端上的镜头固定器，所述镜头固定器上固定有热点传感器，所述镜头的外周设有灯圈。 2.根据权利要求1所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述三轴移动架包括滑动装设于所述箱体上的X轴移动组件、滑动装设于所述X轴移动组件上的Y轴移动组件、以及滑动装设于所述Y轴移动组件上的Z轴移动组件，所述摄像头固定器固定于所述Z轴移动组件上。 3.根据权利要求2所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述X轴移动组件包括沿所述箱体长度方向设置且固定于所述箱体两侧壁的两根第一滑轨、滑动装设于两根所述第一滑轨上的滑动平台、以及驱动所述滑动平台滑动的第一驱动件。 4.根据权利要求3所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述第一驱动件包括连接于所述滑动平台的第一丝杠、以及驱动所述第一丝杠转动的第一步进电机，所述第一步进电机固定于所述箱体上，所述滑动平台的底面设有供所述第一丝杠螺合连接的第一连接块。 5.根据权利要求3所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述Y轴移动组件包括沿垂直于所述滑动平台滑动方向设置且固定于所述滑动平台两侧的两根第二滑轨、滑动装设于两根所述第二滑轨上的安装平台、以及驱动所述安装平台滑动的第二驱动件。 6.根据权利要求5所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述Z轴移动组件为伸缩杆，所述伸缩杆的第一端固定于所述安装平台底部，所述伸缩杆的第二端固定有所述镜头固定器。 7.根据权利要求1所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述箱体的下部设有用于将箱体可拆卸固定于所述静电仿真器上的固定扣。
所属类别：	实用新型