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原文传递催化燃烧类传感器元器件及气体传感器

专利名称：	催化燃烧类传感器元器件及气体传感器
摘要：	本申请涉及一种催化燃烧类传感器元器件及气体传感器，该催化燃烧类传感器元器件包括：敏感元件，具有第一铂丝线圈和设置在第一铂丝线圈两端的第一铂丝连接部；补偿元件，具有第二铂丝线圈和设置在第二铂丝线圈两端的第二铂丝连接部；其中，第二铂丝线圈或者第二铂丝线圈和第二连接部上附着有钝化膜。上述的催化燃烧类传感器元器件及气体传感器，由于在补偿元件上形成牢固的钝化膜，使其具有较佳的抗震性，能避免由于震动或冲击造成钝化材料和第二铂丝线圈产生裂纹、变形，从而保证器件的检测灵敏度。同时，由于具有较佳的抗震性，能避免在受到震动或冲击时补偿元件的钝化膜发生脱落，以保证其隔绝氢气的效果，提高其检测稳定性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州慧闻纳米科技有限公司
发明人：	王国栋;张平平;张书敏;孙旭辉;吴庆乐
专利状态：	有效
申请日期：	2023-08-29T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-28T00:00:00+0800
申请号：	CN202311094491.6
公开号：	CN117129533A
代理机构：	苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	唐静芳
分类号：	G01N27/16;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/16
申请人地址：	215124 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区17幢302室
主权项：	1.一种催化燃烧类传感器元器件，其特征在于，包括：敏感元件，具有第一铂丝线圈和设置在所述第一铂丝线圈两端的第一铂丝连接部；补偿元件，具有第二铂丝线圈和设置在所述第二铂丝线圈两端的第二铂丝连接部；其中，所述第二铂丝线圈或者所述第二铂丝线圈和第二连接部上附着有钝化膜。 2.如权利要求1所述的催化燃烧类传感器元器件，其特征在于，所述钝化膜包括至少一层钝化层，所述钝化膜的厚度为1-500nm。 3.如权利要求2所述的催化燃烧类传感器元器件，其特征在于，每层所述钝化层各自独立地由SiO2、Al2O3、Si3N4、ZnO、ZrO2或HfO2中的一种或多种材料形成。 4.如权利要求1至3中任一项所述的催化燃烧类传感器元器件，其特征在于，所述钝化膜由物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积或分子层沉积中的任一种或多种工艺复合形成。 5.如权利要求1所述的催化燃烧类传感器元器件，其特征在于，所述敏感元件上还设有敏感涂层，所述敏感涂层包括基体材料和催化材料；或者，所述敏感元件经过退火烧结处理，退火温度为550℃-1200℃，烧结时间为0.5-6h。 6.如权利要求5所述的催化燃烧类传感器元器件，其特征在于，所述基体材料选自Al2O3、SnO2、ZnO或SiO2中的任一种或多种；和/或，所述催化材料选自Pt、Pd、Ag或Rh中的任一种或多种。 7.如权利要求5或6所述的催化燃烧类传感器元器件，其特征在于，所述敏感涂层经过退火烧结处理，退火温度为350-650℃，烧结时间为1-4h。 8.如权利要求1所述的催化燃烧类传感器元器件，其特征在于，所述第一铂丝线圈的直径规格为5-200μm；和/或，所述第一铂丝连接部的直径规格为5-200μm；和/或，所述第二铂丝线圈的直径规格为5-200μm；和/或，所述第二铂丝连接部的直径规格为5-200μm。 9.如权利要求1或8所述的催化燃烧类传感器元器件，其特征在于，所述第一铂丝线圈和/或第二铂丝线圈为等距螺旋线圈结构，其中，所述第一铂丝线圈的长度与直径的比例为1.5:1-3:1；和/或，所述第二铂丝线圈的长度与直径的比例为1.5:1-3:1。 10.一种气体传感器，其特征在于，包括传感器本体和如权利要求1至9中任一项所述的催化燃烧类传感器元器件，所述敏感元件和补偿元件分别通过所述第一铂丝连接部和第二铂丝连接部连接至所述传感器本体。
所属类别：	发明专利