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IGBT用硅外延片的优化与实现
| 论文题名： | IGBT用硅外延片的优化与实现 |
| 关键词： | IGBT;硅外延片 |
| 作者： | 周海枫 |
| 专业： | 集成电路工程 |
| 导师： | 孙伟锋;谭卫东 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 东南大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | IGBT用硅外延片的优化与实现 |
| 关键词： | IGBT;硅外延片 |
| 作者： | 周海枫 |
| 专业： | 集成电路工程 |
| 导师： | 孙伟锋;谭卫东 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 东南大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |