专利名称: | 集成电路料盘的移载装置 |
摘要: | 本实用新型是有关于一种集成电路料盘的移载装置,包含有:一基架,内部设有横向的一第一、第二滑轨组;一料盘夹持座,具有一身部枢设于该第一滑轨组,受一第一驱动装置所驱动而于该基架内左右滑移,于该身部上枢设一夹持框,该夹持框受一第二驱动装置所驱动而沿该身部上下滑移;一料盘承台,具有一身部枢设于该第二滑轨组,受一第三驱动装置所驱动而于该基架内左右滑移,该料盘承台上具有二承板,该二承板由二第四驱动装置所分别驱动而上下位移。 |
专利类型: | 实用新型专利 |
国家地区组织代码: | 台湾;71 |
申请人: | 东捷半导体科技股份有限公司 |
发明人: | 李炳寰;苏荣瑞;陈正赐 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2003-05-27T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN03251289.9 |
公开号: | CN2619365 |
代理机构: | 中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人: | 汤保平 |
分类号: | H01L21/66 |
申请人地址: | 台湾省台南市安平工业区新和路5号1楼 |
主权项: | 1.一种集成电路料盘的移载装置,其特征在于,包含有: 一基架,内部设有横向的一第一、第二滑轨组; 一料盘夹持座,具有一身部枢设于该第一滑轨组,受一第一驱动装 置所驱动而于该基架内左右滑移,于该身部上枢设一夹持框,该夹持框 受一第二驱动装置所驱动而沿该身部上下滑移; 一料盘承台,具有一身部枢设于该第二滑轨组,受一第三驱动装置 所驱动而于该基架内左右滑移,该料盘承台上具有二承板,该二承板由 二第四驱动装置所分别驱动而上下位移。 |
所属类别: | 实用新型 |