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原文传递 集成电路料盘的移载装置
专利名称: 集成电路料盘的移载装置
摘要: 本实用新型是有关于一种集成电路料盘的移载装置,包含有:一基架,内部设有横向的一第一、第二滑轨组;一料盘夹持座,具有一身部枢设于该第一滑轨组,受一第一驱动装置所驱动而于该基架内左右滑移,于该身部上枢设一夹持框,该夹持框受一第二驱动装置所驱动而沿该身部上下滑移;一料盘承台,具有一身部枢设于该第二滑轨组,受一第三驱动装置所驱动而于该基架内左右滑移,该料盘承台上具有二承板,该二承板由二第四驱动装置所分别驱动而上下位移。
专利类型: 实用新型专利
国家地区组织代码: 台湾;71
申请人: 东捷半导体科技股份有限公司
发明人: 李炳寰;苏荣瑞;陈正赐
专利状态: 有效
申请日期: 2003-05-27T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN03251289.9
公开号: CN2619365
代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
代理人: 汤保平
分类号: H01L21/66
申请人地址: 台湾省台南市安平工业区新和路5号1楼
主权项: 1.一种集成电路料盘的移载装置,其特征在于,包含有: 一基架,内部设有横向的一第一、第二滑轨组; 一料盘夹持座,具有一身部枢设于该第一滑轨组,受一第一驱动装 置所驱动而于该基架内左右滑移,于该身部上枢设一夹持框,该夹持框 受一第二驱动装置所驱动而沿该身部上下滑移; 一料盘承台,具有一身部枢设于该第二滑轨组,受一第三驱动装置 所驱动而于该基架内左右滑移,该料盘承台上具有二承板,该二承板由 二第四驱动装置所分别驱动而上下位移。
所属类别: 实用新型
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