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串并联混合五自由度真空加工平台的研究
| 论文题名： | 串并联混合五自由度真空加工平台的研究 |
| 关键词： | 并联混合;五自由度;真空 |
| 作者： | 裴鑫浩 |
| 专业： | 仪器仪表工程 |
| 导师： | 徐志鹏;廖长兵 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 中国计量大学 |
| 学位年度： | 2017 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 串并联混合五自由度真空加工平台的研究 |
| 关键词： | 并联混合;五自由度;真空 |
| 作者： | 裴鑫浩 |
| 专业： | 仪器仪表工程 |
| 导师： | 徐志鹏;廖长兵 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 中国计量大学 |
| 学位年度： | 2017 |
| 正文语种： | 中文 |