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原文传递推片机

专利名称：	推片机
摘要：	本实用新型公开了一种推片机，涉及电子器件的制造技术。解决了现有技术中在不同的晶舟盒之间转移硅片的过程中易发生硅片冲撞，导致硅片损坏的技术问题。本实用新型所提供的推片机，包括推挡件和支撑台，所述推挡件设在所述支撑台上。本实用新型应用于在不同的晶舟盒之间转移硅片。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
发明人：	林大野
专利状态：	有效
申请日期：	2008-06-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200820108532.7
公开号：	CN201229935
代理机构：	北京中博世达专利商标代理有限公司
代理人：	申健
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	100871北京市海淀区成府路298号方正大厦5层
主权项：	1、一种推片机，其特征在于：包括推挡件和支撑台，所述推挡件设在所述支撑台上。
所属类别：	实用新型