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原文传递载置台、处理装置以及处理系统

专利名称：	载置台、处理装置以及处理系统
摘要：	本发明提供一种载置台、处理装置和处理系统，上述载置台能够一并交接多个被处理体，并且能够一并处理多个被处理体。其中，在设于基座(105)上的交接机构部(111)上相互隔开距离且在同方向上升降自如地排列多个板状的可动密封部件(123)。可动密封部件 (123)不与搬送装置(25)的叉子(23)干涉，而上升到比叉子(23) 高的位置。在其途中，载置于叉子(23)上的小片基板(S)被一并交接到可动密封部件(123)。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	东条利洋;佐佐木和男
专利状态：	有效
申请日期：	2008-11-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810173585.1
公开号：	CN101431041
代理机构：	北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	H01L21/683(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1. 一种载置台，其在处理装置中载置被处理体，其特征在于，包括：多个载置面，其载置多个被处理体；和交接机构，其具有升降自如的多个可动部件，该多个可动部件在与所述载置面平行的状态下相互隔开距离在同方向上排列，通过由所述可动部件支撑被处理体，在所述可动部件与搬送装置之间一并进行多个被处理体的交接。
所属类别：	发明专利