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单晶硅微弧等离子切割过程建模与控制
| 论文题名： | 单晶硅微弧等离子切割过程建模与控制 |
| 关键词： | 单晶;硅微;等离子;切割过程 |
| 作者： | 路雄 |
| 专业： | 机械电子工程 |
| 导师： | 李淑娟 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 西安理工大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 单晶硅微弧等离子切割过程建模与控制 |
| 关键词： | 单晶;硅微;等离子;切割过程 |
| 作者： | 路雄 |
| 专业： | 机械电子工程 |
| 导师： | 李淑娟 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 西安理工大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |