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单晶硅微槽阵列微细磨削质量综合评价研究
| 论文题名： | 单晶硅微槽阵列微细磨削质量综合评价研究 |
| 关键词： | 单晶;硅微;阵列;磨削质量 |
| 作者： | 刘辉 |
| 专业： | 工业工程 |
| 导师： | 任莹晖 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 湖南大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 单晶硅微槽阵列微细磨削质量综合评价研究 |
| 关键词： | 单晶;硅微;阵列;磨削质量 |
| 作者： | 刘辉 |
| 专业： | 工业工程 |
| 导师： | 任莹晖 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 湖南大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |