专利名称: |
一种基板快速冷却装置 |
摘要: |
本实用新型公开了一种基板快速冷却装置,它包括设置在机架上的前、后输送装置,
在前、后输送装置之间接有升降输送装置,在升降输送装置的下面设有水冷板,所述水冷
板内部设有真空管路和水冷管路,真空管路与真空系统管道连接,水冷管路与水冷系统管
道连接,水冷板的一面设有与真空管路相通的真空吸孔,另一面设有与水冷管路相通的进
水口和出水口。本实用新型冷却速度快、冷却效果好、占地空间小。 |
专利类型: |
实用新型专利 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
志圣科技(广州)有限公司 |
发明人: |
杨海龙 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2008-04-22T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN200820046736.2 |
公开号: |
CN201245374 |
代理机构: |
广州市南锋专利事务所有限公司 |
代理人: |
李永庆 |
分类号: |
B65G47/52(2006.01)I |
申请人地址: |
510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号 |
主权项: |
1、一种基板快速冷却装置,包括设置在机架上的前、后输送装置(1、1’),其特
征在于:在前、后输送装置(1、1’)之间接有升降输送装置(2),在升降输送装置(2)
的下面设有水冷板(3),所述水冷板(3)内部设有真空管路(31)和水冷管路(32),真
空管路(31)与真空系统(4)管道连接,水冷管路(32)与水冷系统(5)管道连接,水
冷板(3)的一面设有与真空管路(31)相通的真空吸孔(33),另一面设有与水冷管路(32)
相通的进水口(34)和出水口(35)。 |
所属类别: |
实用新型 |