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原文传递 一种基板快速冷却装置
专利名称: 一种基板快速冷却装置
摘要: 本实用新型公开了一种基板快速冷却装置,它包括设置在机架上的前、后输送装置, 在前、后输送装置之间接有升降输送装置,在升降输送装置的下面设有水冷板,所述水冷 板内部设有真空管路和水冷管路,真空管路与真空系统管道连接,水冷管路与水冷系统管 道连接,水冷板的一面设有与真空管路相通的真空吸孔,另一面设有与水冷管路相通的进 水口和出水口。本实用新型冷却速度快、冷却效果好、占地空间小。
专利类型: 实用新型专利
国家地区组织代码: 广东;44
申请人: 志圣科技(广州)有限公司
发明人: 杨海龙
专利状态: 有效
申请日期: 2008-04-22T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200820046736.2
公开号: CN201245374
代理机构: 广州市南锋专利事务所有限公司
代理人: 李永庆
分类号: B65G47/52(2006.01)I
申请人地址: 510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号
主权项: 1、一种基板快速冷却装置,包括设置在机架上的前、后输送装置(1、1’),其特 征在于:在前、后输送装置(1、1’)之间接有升降输送装置(2),在升降输送装置(2) 的下面设有水冷板(3),所述水冷板(3)内部设有真空管路(31)和水冷管路(32),真 空管路(31)与真空系统(4)管道连接,水冷管路(32)与水冷系统(5)管道连接,水 冷板(3)的一面设有与真空管路(31)相通的真空吸孔(33),另一面设有与水冷管路(32) 相通的进水口(34)和出水口(35)。
所属类别: 实用新型
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