详情

原文传递小体积模块处理系统

专利名称：	小体积模块处理系统
摘要：	公开了一种用于模块处理系统的方法和装置。所述装置包括作为所述系统的基础的传递室并且包括适于接收至少三个200mm和/或300mm处理室的侧壁。所述传递室包括能够承受高温并设置成传送200mm和300mm基板的机械手。所述传递室的模块性是高度可移植的，并且提供低所有权成本的研发平台，当添加附加室和外围硬件时，可以将其模块化构建成生产系统。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料股份有限公司
发明人：	尼欧·谬;斯蒂文·波普;安东尼·怀特;尼蒂·M·克里希纳
专利状态：	有效
申请日期：	2007-07-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200780028091.8
公开号：	CN101495391
代理机构：	北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人：	徐金国
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚
主权项：	1.一种传递室，包括：室体，该室体包括由至少四个侧壁限定的内部体积；穿过所述侧壁中的每一个形成的基板传送舱口；以及放置在所述内部体积中的传送机械手，所述传送机械手设置成能承受超过 100摄氏度的温度。
所属类别：	发明专利