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原文传递基板输送装置

专利名称：	基板输送装置
摘要：	本发明的基板处理装置包括：输送部，单张式输送基板；以及缓冲部，设置于由该输送部形成的输送路径的中途部位，并且，将由所述输送部输送的基板暂时存留后输出，该缓冲部包括：基板盒，具备能够将多个基板收纳为水平姿势的多层收纳部；以及基板输入输出部，能够访问任意的收纳部，并且，在基板盒和输送部之间交接基板。结果，能够抑制输送路径上的基板输送的停止。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社IHI
发明人：	平田贤辅;水野智夫
专利状态：	有效
申请日期：	2007-02-05T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200780036982.8
公开号：	CN101523590
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	张雨
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1. 一种基板输送装置，包括：输送部，单张式输送基板；以及缓冲部，设置于由该输送部形成的输送路径的中途部位，并且，将由所述输送部输送的所述基板暂时存留后输出，所述缓冲部包括：基板盒，具备能够将多个所述基板收纳为水平姿势的多层收纳部；以及基板输入输出部，能够访问任意的所述收纳部，并且，在所述基板盒和所述输送部之间交接所述基板。
所属类别：	发明专利