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板状部件的输送装置及板状部件的输送方法
| 专利名称： | 板状部件的输送装置及板状部件的输送方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在 输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。 输送装置(10)具有：飘浮单元(20)，其沿玻璃基板(11)的输送 方向排列多个使玻璃基板(11)飘浮的飘浮部件(21)；输送单元(30)， 其在玻璃基板(11)利用飘浮单元(20)从飘浮部件(21)飘浮的状 态下，保持玻璃基板(11)，同时沿输送方向向下游侧输送玻璃基板 (11)；以及处理部(40)，其在输送单元(30)中的输送路径的中 途，对玻璃基板(11)进行曝光处理。在与处理部(40)相对应的区 域内，设置作为表面平坦度提高单元的横置飘浮部件(43)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东丽工程株式会社 |
| 发明人： | 谷川央树;尾崎充佳;森诚树 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-07-31T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810144454.0 |
| 公开号： | CN101562123 |
| 代理机构： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 分类号： | H01L21/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 主权项： | 1.一种板状部件的输送装置，其具有： 飘浮单元，其沿前述板状部件的输送方向，平行地排列多个飘浮 部件，该飘浮部件通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘 浮； 输送单元，其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件 飘浮的状态下，保持前述板状部件，同时沿前述输送方向，向下游侧 输送前述板状部件；以及 处理部，其在前述输送单元的输送路径的中途，对前述板状部件 进行要求表面平坦度的处理， 其特征在于， 在前述飘浮单元的与前述处理部相对应的区域，设置前述板状部 件的表面平坦度提高单元。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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