专利名称: | 照明用光源及使用其的图案检查装置 |
摘要: | 本发明提供在拍摄的区域的任意点上光的入射的条件相同的照明单 元、及可进行凹坑的优劣判定的图案检查装置。将多个LED(2)排列在 LED支撑构件(3)上,照明光从LED(2)以平行的状态射出,以规定的 入射角度θ入射于摄像区域(R)地构成各面光源(a~h)。排列LED(2) 的区域的大小比摄像区域(R)的大小大。由8个面光源(a~h),照明光 以平行状态射出,以规定角度θ入射在摄像区域(R)的全体。因此,在摄 像区域(R)的BAC上的任意点上,相同角度的照明光以相同照射强度从 全方向入射,无论在摄像区域的哪一点上,其条件都成为相同。所以,在 进行检查的全部区域,根据凹坑的光亮(辉度)的不同可判定优劣。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 优志旺电机株式会社 |
发明人: | 野本宪太郎;松田僚三 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2009-03-27T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200910130153.7 |
公开号: | CN101551078 |
代理机构: | 永新专利商标代理有限公司 |
代理人: | 黄剑锋 |
分类号: | F21S8/00(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京都 |
主权项: | 1.一种照明用光源,其特征在于: 向被照射区域照射平行光的面光源,在同一平面上环状地配置多个, 各面光源的大小为,被照射于被照明区域面上的来自各面光源的光的 照射区域包含被照明区域全体的大小。 |
所属类别: | 发明专利 |