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原文传递 照明用光源及使用其的图案检查装置
专利名称: 照明用光源及使用其的图案检查装置
摘要: 本发明提供在拍摄的区域的任意点上光的入射的条件相同的照明单 元、及可进行凹坑的优劣判定的图案检查装置。将多个LED(2)排列在 LED支撑构件(3)上,照明光从LED(2)以平行的状态射出,以规定的 入射角度θ入射于摄像区域(R)地构成各面光源(a~h)。排列LED(2) 的区域的大小比摄像区域(R)的大小大。由8个面光源(a~h),照明光 以平行状态射出,以规定角度θ入射在摄像区域(R)的全体。因此,在摄 像区域(R)的BAC上的任意点上,相同角度的照明光以相同照射强度从 全方向入射,无论在摄像区域的哪一点上,其条件都成为相同。所以,在 进行检查的全部区域,根据凹坑的光亮(辉度)的不同可判定优劣。
专利类型: 发明专利
申请人: 优志旺电机株式会社
发明人: 野本宪太郎;松田僚三
专利状态: 有效
申请日期: 2009-03-27T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200910130153.7
公开号: CN101551078
代理机构: 永新专利商标代理有限公司
代理人: 黄剑锋
分类号: F21S8/00(2006.01)I
申请人地址: 日本东京都
主权项: 1.一种照明用光源,其特征在于: 向被照射区域照射平行光的面光源,在同一平面上环状地配置多个, 各面光源的大小为,被照射于被照明区域面上的来自各面光源的光的 照射区域包含被照明区域全体的大小。
所属类别: 发明专利
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